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尾气(氢气+氯硅烷)回收技术


为节约能源资源、发展循环经济、保护环境提供技术解决方案和专用装备,主要包括节能产业、资源循环利用产业和环保装备产业,涉及节能环保技术与装备、节能产品和服务等;涉及领域包括:节能技术和装备、高效节能产品、节能服务产业、先进环保技术和装备、环保产品与环保服务。为用户提供高效节能、先进环保、资源循环利用关键技术装备、产品和服务。

主要通过低温吸收,变温及变压吸附等工艺,将氢气及氯硅烷从工艺废气中分离出来以达到循环利用的目的。

技术优势:

u  氢气回收率高,氢气回收率≥80%;

u  通过STC吸收原料气中的氯硅烷,达到最大程度回收氯硅烷,原料重复利用;

u  通过干燥吸附-再生-二次吸附,最大限度的回收氢气,减少氢气排放,同时提高氢气的纯度;

u  利用变压吸附的废气对变温吸附设备进行反吹,节约公用工程用气;

u  采用全新的脱氧技术,节能环保;

采用变温吸附和变压吸附串联操作,能够快速有效地达到氢气提纯的目的;此方法废气处理量大。

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